2026
08-10
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为第三代半导体产业而生！国产光刻机获行业头部客户重复订单：已获验证 可大规模使用了！ NEW
快科技8月10日消息，国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布，近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200），已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并且拿到了批量重复采购订单，正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。早在2025年11月，这家企业自主研发的首台350nm步进光刻机AST6200就完成了全部出厂调试与验收流程，正式启程发往合作客户的生产现场。很多人第一时间会把这台设备和传统硅基芯片的先进制程光刻...
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快科技6月7日消息，据国外媒体报道称，近日ASML CEO接受媒体采访时表示，中国早已研发国产光刻设备。在这位CEO看来，尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但美国出台的打压措施只会适得其反，让中国“更努力取得成功”。他还称，与其打压中国等竞争对手，不如将注意力放在创新上。“中国已经开始研发一些国产光刻设备，尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但你试图阻止的人会更加努力地取得成功。”在这之前，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，...