2025
08-09
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攻克7nm指日可待！国产第500台步进光刻机成功交付 NEW
快科技8月9日消息，毫无疑问，我国正在发力光刻机，而先进制程的7nm工艺早晚会被攻克，目前全产业链都在集体发力。据上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”或“AMIES”）发布公告，公司昨天举办了第500台步进光刻机交付仪式，这标志着我国高端半导体装备产业迈上新的台阶。芯上微装称，先进封装光刻机是AMIES的拳头产品，具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点，具有强大的翘曲和厚胶处理能力，可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。该类产品能够满足Flip-chip、...
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快科技6月7日消息，据国外媒体报道称，近日ASML CEO接受媒体采访时表示，中国早已研发国产光刻设备。在这位CEO看来，尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但美国出台的打压措施只会适得其反，让中国“更努力取得成功”。他还称，与其打压中国等竞争对手，不如将注意力放在创新上。“中国已经开始研发一些国产光刻设备，尽管中国在赶超ASML的技术方面还有很长的路要走，但你试图阻止的人会更加努力地取得成功。”在这之前，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，...